Arama
Language  Türkçe |  中文 |  English |  Español |  عربى |  Türkçe |
Yarı İletken Ürünler
SiC Külçe Lazer Kesim Ekipmanı RM-LS-SiC-1200
 
Yarı saydam şerit lazerler kullanılarak külçenin iç kısmına hassas bir şekilde odaklanılmasıyla, çok foton etkisi yoluyla homojen bir modifikasyon tabakası oluşturulur ve bu da kontrol edilebilir mikro çatlak yayılımını tetikler. Bunu, alt tabakanın tamamen ayrılmasını sağlamak için ultrason destekli bir ayırma işlemi izler. Bu ekipman, SiC külçesinin kaldırılmasını ve yonga plakasının hassas inceltilmesini verimli bir şekilde tamamlayabilirken, GaN ve elmas gibi sert ve kırılgan kristal malzemelerin kaldırılmasıyla da uyumludur. Ultra düşük kaldırma kaybı, yüksek düzlük, mekanik gerilim olmaması ve yüksek seri üretim verimliliği özelliklerine sahip olması, onu geniş bant aralıklı yarı iletken güç cihazları için temel bir seri üretim ekipmanı haline getirmektedir.
SiC Külçe Lazer Kesim Ekipmanı RM-LS-SiC-1200
  • Komple Ekipman Seti

  • Kendi geliştirdiğim Temel Modül

    Özelleştirilmiş ışık alanı kontrol algoritması

  • Yüksek Verimlilik, Düşük Kayıp

Özelleştirilmiş ışık alanı kontrol algoritmalarıyla çalışan gelişmiş SiC ekipmanı.
  • 8/12 inç için uygundur.

  • Kendi geliştirdiğim Temel Modül
    Odak takibi, ışık alanı kontrolü ve yönlendirilmiş gofret alımı için temel algoritmalar ve yapılar.
  • Düşük malzeme kaybı
    100 µm kadar düşük (8 inç iletken) öğütme işleminden sonra toplam kayıp.
  • Yüksek işlem verimliliği
    Yüksek işlem verimliliği: 15 dk/wafer.
  • Entegre çözüm
    Lazer modifikasyonu + ultrasonik destekli ayırma + otomatik wafer alma + AOI'yi entegre eden çözüm.