Tüm süreç bilgileriyle tüm wafer'ların eksiksiz fiziksel ve veri izlenebilirliğini sağlar.

Wafer Otomasyon Paketleme Hattı, aşağıdaki temel süreçleri içeren yüksek düzeyde entegre bir otomasyon sistemidir: Yükleme ve taşıma: Birden fazla wafer inceleme sisteminin çıkış alanlarından sıralanmış wafer'ları içeren kutuları alır ve bir araya getirdikten sonra wafer yığınlarını taşır. Görünüm incelemesi: Genellikle wafer yığınının dört yan tarafını ve pahlarını yakalamak için bir görüntüleme sistemi kullanılır ve wafer inceleme sistemindeki inceleme sürecinde gözden kaçmış olabilecek leke, yapıştırıcı ve yan taraftaki kırılma gibi kusurları tespit etmeye odaklanılır. Torbalama ve paketleme: Her wafer yığınının üstüne ve altına otomatik olarak yağlı kağıt yerleştirilir, ardından wafer yığını bir paketleme torbasına yüklenir. Bundan sonra, inceleme sonuçlarına göre wafer yığınları bir paketleme kutusuna yüklenir. Hattın sonunda paletleme entegre edilebilir. Uygulama senaryoları: Esas olarak wafer üretim atölyelerinin hat sonu paketleme sürecinde kullanılır ve incelemeden paketlemeye kadar eksiksiz bir otomatik döngü oluşturmak için önceki wafer inceleme sistemleriyle bağlantı kurar.

Teknik avantajlar: Kararlı gofret yığını inceleme işlevi, tamamen otomatik ve akıllı işlemler için sağlam bir temel oluşturarak sonraki manuel yeniden inceleme ihtiyacını ortadan kaldırır. Etkin RTY > manuel yeniden inceleme geçme oranı; hata oranı ≤ %0,01, yanlış çağrı oranı ≤ %1. Örneğin 018TH'yi ele alırsak, manuel işlemlere kıyasla günlük üretim verimliliğinde 9 kutu artış sağlanmıştır. Bu ekipman, fotovoltaik üretimini "ışıkları kapalı fabrikalar"a doğru yönlendirmek ve işçilik maliyetlerini düşürmek için çok önemlidir.