FTB150MP, müşteri ihtiyaçlarına göre laboratuvar uygulamaları için tasarlanmış 6 inçlik bir CMP aletidir. Çeşitli malzemelerle uyumludur ve ultra yüksek gofret yüzey düzgünlüğü elde etmek için yüksek performanslı parlatma ünitelerine sahiptir. Yüksek maliyet etkinliği sayesinde, yüksek hassasiyetli proses gereksinimleri için ideal bir laboratuvar çözümü sunar.
Garaj Boyutu
≤6 inç
Garaj Malzemesi
Si, SiC, GaN vb.
Tüm işlevlerle mükemmel ve kompakt
Küçük ölçekli alanlardaki temel Ar-Ge ve uygulamalara adanmış
Kompakt Boyut
Tek kafa ve tek plaka tasarımında yüksek entegrasyon.
Esnek Süreç Entegrasyonu
Yüksek sertlikli yapı, daha yüksek basınç uygulanmasına izin verir ve elmas ped veya naylon fırça ped kondisyoneri ile donatılabilir.