TLT300MP, mevcut müşteri ihtiyaçlarına göre laboratuvar uygulamaları için tasarlanmış 12 inçlik bir CMP ekipmanıdır. Bu ekipman, tescilli yenilikçi teknoloji, yüksek performanslı parlatma üniteleri ve hem 8 inç hem de 12 inçlik gofretlerle uyumluluk sunar. Çeşitli malzemeleri destekler ve ultra yüksek gofret yüzey düzgünlüğü sağlar. Esnek proses entegrasyonu sayesinde, yüksek hassasiyetli üretim teknolojilerinin gereksinimlerini karşılar.
Garaj Boyutu
≤12 inç
Garaj Malzemesi
Si, SiC, GaN vb.
Parlatma Başlığı
2
Plaka
1
Farklı alanlardaki müşterilerin çeşitli ihtiyaçlarını karşılar
Yarı iletken endüstrisinin tüm alanlarında Ar-Ge ve küçük ölçekli üretimde esnek bir şekilde uygulanabilir
Çok Bölgeli Parlatma Başlığı
Opsiyonel 8 inç / 12 inç
Güçlü Uyumluluk
Çok Bölgeli Parlatma Başlığı, Esnek Süreç Entegrasyonu, Gelişmiş Süreç Teknolojisi Gereksinimlerini karşılar.